CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

New Structure for Corner Compensation in Anisotropic KOH-etching

Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik)
Journal of Micromechanics and Microengineering, 7 p. 141-144. (1997)
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-01-19.
CPL Pubid: 153952

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Materialvetenskap
Nanovetenskap och nanoteknik
Produktion
Elektroteknik och elektronik
Kemiteknik
Materialteknik
Teknisk fysik
Övrig annan teknik

Chalmers infrastruktur