CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

A Silicon Resonant Sensor Structure for Coriolis Mass Flow Measurements

Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik) ; Göran Stemme ; Erik Stemme
IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 6, No. 2 p. 119-125. (1997)
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-01-19.
CPL Pubid: 153941

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Energi
Produktion
Transport
Elektroteknik och elektronik
Teknisk mekanik
Kemiteknik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur