CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

A valve-less planar pump isotropically etched in silicon

Anders Olsson ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroelektronik) ; Göran Stemme ; Erik Stemme
Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 6, No. 1 p. 87-91. (1996)
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2012-01-19.
CPL Pubid: 153940

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroelektronik (1995-2003)

Ämnesområden

Livsvetenskaper
Produktion
Transport
Elektroteknik och elektronik
Kemiteknik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur