CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Microshutters for MEMS-based time-of-flight measurements in space

K. Brinkfeldt ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; M. Wieser ; S. Barabash ; M. Emanuelsson
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (1084-6999). p. 597-600. (2011)
[Konferensbidrag, refereegranskat]

This paper reports on the fabrication, integration and first operation of a mechanical microshutter in a time-of-flight (TOF) based ion detector in space. The microshutter is fabricated from a silicon on insulator (SOI) wafer and operated in a resonance mode, 306 kHz. Open time of the shutter is 100 ns. The microshutters are integrated in the PRIMA instrument, which is part of the payload on the Swedish PRISMA mission. PRISMA was successfully launched into low Earth orbit on June 15, 2010.



Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2011-05-31. Senast ändrad 2012-01-18.
CPL Pubid: 141288

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem (2007-2015)

Ämnesområden

Produktion
Transport
Fysik
Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur