CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Low temperature cofired ceramics for mems bonding

M. F. Khan (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap ; Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; Farzan Alavian Ghavanini (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; Cristina Rusu ; Sjoerd Haasl ; L Löfgren ; K Persson ; K. Schjolberg-Henriksen ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem)
Micronano Systems Workshop 2010 (MSW 2010), 4-5 May, 2010, Stockholm, Sweden (2010)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2011-01-17.
CPL Pubid: 134370

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap
Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem (2007-2015)

Ämnesområden

Produktion
Transport
Elektroteknik och elektronik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur