CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Growth characterization of vertically aligned carbon nanofibers on top of TiN buffer layer for nanoelectromechanical devices

Farzan Alavian Ghavanini (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; Maria Damian ; M. Rafieian ; Per Lundgren (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem)
Procedia Engineering, 24th Eurosensor 24th Conference Linz, AUSTRIA, SEP 05-08, 2010 (1877-7058). Vol. 5 (2010), p. 1115-1118 .
[Konferensbidrag, refereegranskat]

Initial growth of vertically aligned carbon nanofibers (VACNFs) from Ni catalyst seeds in the range of 40 to 100 nm as fabricated using hole-mask colloidal lithography on top of reactively sputtered TiN is studied. We observe that the initial growth conditions could cause a growth mode transition from base-type to tip-type. We attribute this transition to a change in the crystallographic orientation of the Ni catalyst seeds induced by initial growth conditions. A convenient method to deposit stoichiometric TiN films is also presented.

Nyckelord: Growth, Plasma enhanced CVD, Titanium nitride, VACNF, Vertucally aligned carbon nanojiber



Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2011-01-11. Senast ändrad 2015-12-17.
CPL Pubid: 132973

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem (2007-2015)

Ämnesområden

Produktion
Transport
Fysik
Elektroteknik och elektronik
Teknisk fysik

Chalmers infrastruktur