CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

An UV linear variable optical filter-based micro-spectrometer

A. Emadi ; H. Wu ; G. De Graaf ; Karin Hedsten (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Nanotekniklaboratoriet) ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; J. H. Correia ; R. F. Wolffenbuttel
Procedia Engineering, Proc. Eurosensors XXIV, September 5-8, 2010, Linz, Austria (1877-7058). Vol. 5 (2010), p. 416-419.
[Konferensbidrag, refereegranskat]

This paper presents the design, fabrication and spectral measurements of an Ultra-Violet (UV) Linear Variable Optical Filter (LVOF)-based micro-spectrometer operating in the 300 nm - 400 nm wavelength range. The UV LVOF has been fabricated in an IC-Compatible process using resist reflow. Characterization by passing monochromatic light through the LVOF, shows high linearity of the profile. It is expected that using signal processing, spectral resolution better than 0.5 nm can be achieved with this UV LVOF. The filter provides the possibility to have a robust high-resolution micro-spectrometer in the UV on a CMOS chip.

Nyckelord: Linear variable filter, Micro-spectrometer, On-chip, Ultra-Violet, UV



Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2011-01-11. Senast ändrad 2011-01-18.
CPL Pubid: 132958

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Nanotekniklaboratoriet
Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem (2007-2015)

Ämnesområden

Produktion
Transport
Fysik
Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur