CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Integrated Tunable VCSELs With Simple MEMS Technology

Benjamin Kögel (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Amin Abbaszadehbanaeiyan (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Petter Westbergh (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Åsa Haglund (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Johan S. Gustavsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Jörgen Bengtsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Erik Haglund (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Henrik Frederiksen (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Nanotekniklaboratoriet) ; Pierluigi Debernardi ; Anders Larsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik)
Semiconductor Laser Conference (ISLC), 2010 22nd IEEE International (0899-9406 ). (2010)
[Konferensbidrag, refereegranskat]

A simple MEMS technology for wafer-scale fabrication of tunable VCSELs is presented. Reflown photo-resist droplets serve as preform for making curved movable micro-mirrors. First devices show a tuning range of 15 nm with mW-output power.



Denna post skapades 2010-11-25. Senast ändrad 2016-04-11.
CPL Pubid: 129579

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)