CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Interface study of AlN grown on Si substrates by radio frequency magnetron reactive sputtering

Thorvald Andersson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik)
Thin Solid Films Vol. 471 (2005), p. 336.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2007-02-05.
CPL Pubid: 12741

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik

Ämnesområden

Materialfysik med ytfysik

Chalmers infrastruktur