CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Replication of continuous-profiled micro-optical elements for silicon integration

Karin Hedsten (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Anders Magnusson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Jonas Melin ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Jörgen Bengtsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Fredrik Nikolajeff ; David Karlén (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Henrik Rödjegård ; Gert Andersson
Applied Optics Vol. 45 (2006), 1, p. 83-89.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2007-02-14. Senast ändrad 2010-09-15.
CPL Pubid: 12439

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik (2003-2006)
Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur

Relaterade publikationer

Denna publikation ingår i:


Integration of diffractive, refractive and plasmonic optical structures in highly functional MEMS-based scanning and biosensing systems


Polymer Microoptics in Silicon Micromachining