CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

MEMS sensor for in situ TEM-nanoindentation with simultaneous force and current measurements

Alexandra Nafari (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; J. Angenete ; K. Svensson ; Anke Sanz-Velasco (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem) ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem)
Journal of micromechanics and microengineering (0960-1317). Vol. 20 (2010), 6,
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]

A capacitive force sensor for in situ transmission electron microscope (TEM)-nanoindentation with simultaneous force and current measurement has been developed. The sensor was fabricated using bulk micro machining methods such as deep reactive ion etch, thermal oxidation, metal deposition and anodic bonding. Two different geometries of the sensor were designed to allow in situ TEM electromechanical experiments in the most common TEM instruments. Electrical probing is enabled by an on-chip insulator, electrically separating the indenter tip and the capacitor used for force measurements. The sensor was designed for the force range of 0 to 4.5 mN. Finally, we demonstrate for the first time in situ TEM-nanoindentation with simultaneous force and current measurements.



Den här publikationen ingår i följande styrkeområden:

Läs mer om Chalmers styrkeområden  

Denna post skapades 2010-06-23. Senast ändrad 2011-01-17.
CPL Pubid: 123290

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Bionanosystem (2007-2015)

Ämnesområden

Produktion
Transport
Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur

Relaterade publikationer

Denna publikation ingår i:


Microsensors for in situ electron microscopy applications