CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

A micromachined nanoindentation force sensor

Alexandra Nafari (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Andrey Danilov (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik) ; Henrik Rödjegård ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Håkan Olin
Sensors and Actuators A Physical (0924-4247). Vol. A123-124 (2005), 23, p. 44-49.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]

Nyckelord: Force sensor, Capacitive detection, Nanoindentation, microfabrication, transmission electron microscope, interchangable tip



Denna post skapades 2007-01-15.
CPL Pubid: 12130

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik (2003-2006)
Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik

Ämnesområden

Övrig elektroteknik, elektronik och fotonik

Chalmers infrastruktur

Relaterade publikationer

Denna publikation ingår i:


Microsensors for in situ electron microscopy applications