CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

A micromachined Nanoindentation force sensor

Alexandra Nafari (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Håkan Olin ; Andrey Danilov (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik)
Eurosensors Vol. XVIII (2004), p. 62-63.
[Konferensbidrag, refereegranskat]

Nyckelord: force sensor, microfabrication, nanoindentation



Denna post skapades 2007-01-15.
CPL Pubid: 12129

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik (2003-2006)
Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantkomponentfysik

Ämnesområden

Övrig elektroteknik, elektronik och fotonik

Chalmers infrastruktur