CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Inductively Coupled Plasma Etching of GaN Mesa Structures for Microphotoluminescence

Toshio Kawahara ; Fredrik Fälth (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik) ; Xinju Liu (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik) ; Thorvald Andersson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik) ; Vincent Desmaris (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Mikrovågselektronik)
Proceedings of the 2nd IMP3 conference (2003)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Denna post skapades 2006-08-29. Senast ändrad 2014-09-02.
CPL Pubid: 10868