CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

A monolithic three-axis SOI-accelerometer with uniform sensitivity

H. Rödjegård ; C. Johansson ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap) ; G. Andersson
Sensors and Actuators, A: Physical (09244247 ). Vol. 123-124 (2005), p. 50-53.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]

This paper describes design and fabrication of a capacitive three-axis accelerometer. The devices are bulk micromachined from SOI-wafers by DRIE, and are protected by glass encapsulation. The design is optimised to give direction independent resolution and frequency response, i.e. identical properties in all directions.

Denna post skapades 2009-12-11.
CPL Pubid: 103301


Läs direkt!

Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap


Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur