CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Replicated diffractive optical element in silicon micromachining

Karin Hedsten (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Anders Magnusson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Jonas Melin ; Henrik Rödjegård ; Gert Andersson ; Jörgen Bengtsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Fredrik Nikolajeff ; David Karlén (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik)
Micromechanics Europe (MME04) (Leuven, Belgium, 2004) (2004)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Denna post skapades 2007-02-14. Senast ändrad 2010-09-15.
CPL Pubid: 10100

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik (2003-2006)
Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur