CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Microreplication in a Silicon Processing Compatible Material

Jonas Melin ; Karin Hedsten (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Anders Magnusson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Henrik Rödjegård ; Katrin Persson ; Jörgen Bengtsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Fredrik Nikolajeff
IEEE/LEOS Optical MEMS 2005: International Conference on Optical MEMS and Their Applications; Oulu; Finland; 1 August 2005 through 4 August 2005 p. 89-90. (2005)
[Konferensbidrag, refereegranskat]

We present a novel fabrication process for the integration of polymer micro-optical elements on silicon. The process relies on a reverse order protocol based on embossing in an amorphous fluorocarbon polymer, Cytop™.


Article number 1540091



Denna post skapades 2007-02-14. Senast ändrad 2016-06-21.
CPL Pubid: 10098

 

Läs direkt!


Länk till annan sajt (kan kräva inloggning)


Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik (2003-2006)
Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur