CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Refractive Lenses in Silicon Micromachining by Reflow of Amorphous Fluorocarbon Polymer

Karin Hedsten (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; David Karlén (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik)
Presented at Micromechanics Europe (MME05) (Göteborg, Sweden, Sept. 4-6, 2005) (2005)
[Konferensbidrag, refereegranskat]


Denna post skapades 2007-02-14. Senast ändrad 2010-09-07.
CPL Pubid: 10097

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik (2003-2006)

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur