CPL - Chalmers Publication Library
| Utbildning | Forskning | Styrkeområden | Om Chalmers | In English In English Ej inloggad.

Microreplication in a silicon processing compatible polymer material

Jonas Melin ; Karin Hedsten (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Anders Magnusson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; David Karlén (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Henrik Rödjegård ; Katrin Persson ; Jörgen Bengtsson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik) ; Peter Enoksson (Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik) ; Fredrik Nikolajeff
Jornal of Micromechanics and Microengineering Vol. 15 (2005), 7, p. 116-121.
[Artikel, refereegranskad vetenskaplig]


Denna post skapades 2007-02-14. Senast ändrad 2010-09-15.
CPL Pubid: 10095

 

Institutioner (Chalmers)

Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik (2003-2006)
Institutionen för mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik

Ämnesområden

Elektroteknik och elektronik

Chalmers infrastruktur

Relaterade publikationer

Denna publikation ingår i:


Polymer Microoptics in Silicon Micromachining


Integration of diffractive, refractive and plasmonic optical structures in highly functional MEMS-based scanning and biosensing systems